1.可用來對各種樣式規(guī)格尺寸的基片實現(xiàn)噴膠.最大的噴膠規(guī)格尺寸標準達到8寸。
2.可對各種粘度的膠實現(xiàn)噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
3.可對大深寬比構造實現(xiàn)側(cè)壁涂膠，獲得厚度均勻的膠膜。
4.噴膠均勻性標準:單片表面層≤±15%，片間為≤±10%。
5.計算機系統(tǒng)控制技術主要參數(shù)。
6.可手動操作卸載掉基片。
7.噴膠室容易清洗。
8.供膠流動速度和流量可編程。
9.供膠回吸量可調(diào)整。
10.適合用在所有光刻膠和聚合物。
11.具備全自動針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)整壓力控制及精確測量膠量，并具備膠液回吸基本功能。
12.基片可對準。